Electrical degradation of n-Si/PtSi/(Ti-W)/Al Schottky contacts induced by thermal treatments
Articolo
Data di Pubblicazione:
1982
Citazione:
Electrical degradation of n-Si/PtSi/(Ti-W)/Al Schottky contacts induced by thermal treatments / Canali, C.; Fantini, Fausto; Zanoni, E.. - In: THIN SOLID FILMS. - ISSN 0040-6090. - STAMPA. - 97:(1982), pp. 3250331-3250331. [10.1016/0040-6090(82)90524-7]
Abstract:
Degradation of n-Si/PtSi/(ti-W)/Al Schottky contacts induced by thermal treatments.
Tipologia CRIS:
Articolo su rivista
Keywords:
Schottky contact.
Metal interdiffusion.
Elenco autori:
Canali, C.; Fantini, Fausto; Zanoni, E.
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