Il FIB come strumento nella sintesi, preparazione e caratterizzazione di materiali e dispositivi

In questo capitolo vengono descritte alcune tra le metodologie di analisi e fabbricazione disponibili su una classe relativamente recente di microscopi a scansione come il Focusd Ion Beam (FIB) e gli strumenti a doppia colonna FIB+SEM. Sul versante analisi verranno descritti metodi per l’osservazione in pianta e sezione trasversale con i microscopi a scansione e metodi per la preparazione di campioni da aree selezionate per la microscopia elettronica in trasmissione in sezione trasversale. Per quanto concerne la fabbricazione saranno riportati esempi relativi alla nano-strutturazione di superfici, la modifica di punte per microscopia a sonda e la deposizione assistita da fascio (sia ionico che elettronico).