Accelerometri MEMS: caratterizzazione dinamica e confronto con i sensoripiezoelettrici

Gli accelerometri di tipo piezoelettrico sono probabilmente i più diffusi sensori diaccelerazione attualmente in commercio per l’ambito industriale. Hanno infatti un’ampiabanda dinamica di linearità,sono influenzati in modo trascurabile da rumore etemperatura, e possono misurare elevati valori di accelerazione. Negli ultimi anni sonostati proposti sul mercato dei nuovi tipi di accelerometri di tipo MEMS (Micro Electro-Mechanical Systems) che hanno la caratteristica di essere molto meno costosi deipiezoelettrici sia per i materiali impiegati sia per il processo di fabbricazione di massa. Sefino a poco tempo fa la qualità degli accelerometri MEMS non era paragonabile a quelladei piezoelettrici, la continua evoluzione tecnologica ha estremamente ridotto le differenzetra le due tipologie di sensori. Lo scopo di questo articolo è di confrontare le prestazionidinamiche di alcuni accelerometri di tipo piezoelettrico e di tipo MEMS, per valutarne ledifferenze, qualità e difetti, e fornire un’introduzione alle problematiche che nascono nelpassaggio da una tecnologia all’altra