Thermal properties, optical and interface characterization of Mg/Co multilayers for the EUV range
Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
2011
Citazione:
Thermal properties, optical and interface characterization of Mg/Co multilayers for the EUV range / M. H., Hu; K., Le Guen; J. M., Andre; P., Jonnard; S. K., Zhou; H. C. H., Li; J. T., Zhu; Z. S., Wang; N., Mahne; A., Giglia; Nannarone, Stefano. - STAMPA. - 7995:(2011), pp. N/A-N/A. ( 7th International Conference on Thin Film Physics and Applications Shanghai, chn SEP 24-27, 2010) [10.1117/12.888261].
Abstract:
abstract
Tipologia CRIS:
Relazione in Atti di Convegno
Keywords:
Annealing; Co; EUV reflectivity; Interface; Mg; Multilayer; Scanning electron microscopy; X-ray emission; X-ray reflectivity;
Elenco autori:
M. H., Hu; K., Le Guen; J. M., Andre; P., Jonnard; S. K., Zhou; H. C. H., Li; J. T., Zhu; Z. S., Wang; N., Mahne; A., Giglia; Nannarone, Stefano
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Titolo del libro:
SEVENTH INTERNATIONAL CONFERENCE ON THIN FILM PHYSICS AND APPLICATIONS